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    XDW282-全自動晶圓臨時解鍵合機

    4”-8”晶圓適用
    可處理薄晶圓
    晶圓料籃裝卸料
    自動已鍵合晶圓對準
    熱拆解鍵合晶圓
    鍵合膠膜機械手自動撕除
    自動晶圓切割膜貼覆
    晶圓智能料籃內測繪
    可選嵌入式LED紫外線照射模塊
    工控機+Windows系統
    SECS/GEM 或簡易聯網能力
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