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    XBW262-全自動晶圓臨時鍵合機

    4”-8”晶圓適用
    可處理薄晶圓
    真空熱壓鍵合
    晶圓料籃裝卸料
    自動支撐晶圓、產品晶圓對準
    自動晶圓鍵合
    晶圓智能料籃內測繪
    可選晶圓鍵合后在線測量
    工控機+Windows系統
    SECS/GEM 或簡易聯網能力
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